CSiP130C

- 130nm硅光成套工艺

 

130nm硅光工艺(CSiP130C)

> 工艺上实现更小的线宽（从180nm到130nm）

> 后道工艺从单层Al互连到双层Cu互连

> 耦合器和有源器件性能得到较大升级

→ 支持更高性能硅光器件的设计

 

下图所示分别为：

（a）基于CSiP130Cu工艺制备的纳米波导；

（b）双层Cu互连工艺；

（c）基于CSiP130Cu工艺制备的单波100G bps MZ调制器眼图及带宽。

 

 

 

 

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