CSiP130C
- 130nm硅光成套工艺
130nm硅光工艺(CSiP130C)
> 工艺上实现更小的线宽(从180nm到130nm)
> 后道工艺从单层Al互连到双层Cu互连
> 耦合器和有源器件性能得到较大升级
→ 支持更高性能硅光器件的设计
下图所示分别为:
(a)基于CSiP130Cu工艺制备的纳米波导;
(b)双层Cu互连工艺;
(c)基于CSiP130Cu工艺制备的单波100G bps MZ调制器眼图及带宽。
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- 2022-01-27
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